Nefsin tezkiyesi süresinde, sayıları mutasavvıflara göre değişen çeşitli mertebeler vardır. Genelde bunlara Kur'ân-ı Kerîm'de de işaret edilmiştir ki, şunlardır:
1. Nefs-i emmâre (Yûsuf Sûresi, 53)
2. Nefs-i levvâme (Kıyamet Sûresi, 2)
3. Nefs-i mülhime (Şems Sûresi, 8-9)
4. Nefs-i mutmainne (Fecr Sûresi, 27)
5. Nefs-i râziyye (Fecr Sûresi, 28)
6. Nefs-i marziyye (Fecr Sûresi, 28)
7. Nefs-i kâmile.